實踐證明深紫外光刻工藝深受多種類微量污染物的影響,對很多微量污染物極為敏感,比如氨氣或者酸性氣體都會給半導體生產帶來危害,盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術的發展,已經減少了長時間持續實時監測,而實際上AMC空氣分析儀對空氣分子污染(AMC)的實時測量對產品質量的好壞至關重要。
AMC空氣分析儀也集成了多點監測系統,可依序將氣體抽送到分析儀或傳感器,并讀出測量結果。獵戶座3100S內嵌的報警、報告、分析軟件是由多年半導體行業經驗的工程師集體開發。模擬模塊可以輸出來自4~6臺分析儀或傳感器的數據。每臺分析儀配有內置計算機,可進行數據存儲和數據輸出,還支持遠程網絡控制,通過互聯網可以連接經銷商服務商進行操作或者診斷。使用者可以通過網絡瀏覽器比如IE、Chrome等世界任意可以聯網的地方進行操作,遠程操作可實現多級管理權限控制和操作。
儀器基于CEAS(腔增強吸收光譜)技術,極簡使用、便捷操作,所有部件(包括內置真空泵、鍵盤、鼠標、顯示器等)幾分鐘內可開始記錄數據,其他大氣中的水汽、CO2、O2、甲烷等不會對HCL、HF、NH3等測量構成交叉干擾。內置計算機可logo2以存儲大量數據到內置硬盤上,可同過數字接口或者模擬接口傳輸數據,可通過互聯網遠程存儲或記錄數據,高質量的數據庫,適合于苛刻的半導體痕量級氣體應用。
AMC空氣分析儀基于CEAS(腔增強吸收光譜)技術的儀器原理圖,使用近紅外波段光進行高靈敏度吸收測量,測量腔室由一組高反射率多次反射鏡片組成的柱狀體構成,激光束經過固態校準器時會測量得到相對激光波長。為了保證清晰度,忽略了原本照射到左側測量單元腔鏡外的光束。